Creation of lithographic masks using a scanning probe microscope - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
596 024

расширенный поиск

Creation of lithographic masks using a scanning probe microscope

Bizyaev D., Bukharaev A., Ziganshina S., Nurgazizov N., Khanipov T., Chuklanov A.

Дата публикации: 2015

Дата публикации в реестре: 2020-02-29T23:19:26Z

Аннотация:

Тип: Article

Источник: SCOPUS10637397-2015-44-6-SID84946147318

Другие версии документа

Creation of lithographic masks using a scanning probe microscope

Связанные документы (рекомендация CORE)