Gas and plasma dynamics of RF discharge jet of low pressure in a vacuum chamber with flat electrodes and inside tube, influence of RF discharge on the steel surface parameters - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 021

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Gas and plasma dynamics of RF discharge jet of low pressure in a vacuum chamber with flat electrodes and inside tube, influence of RF discharge on the steel surface parameters

Khristoliubova V., Kashapov N., Shaekhov M.

Дата публикации: 2016

Дата публикации в реестре: 2020-02-29T23:26:58Z

Аннотация:

Тип: Conference Paper

Источник: SCOPUS17578981-2016-134-1-SID84986334025

Другие версии документа

Gas and plasma dynamics of RF discharge jet of low pressure in a vacuum chamber with flat electrodes and inside tube, influence of RF discharge on the steel surface parameters

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ

ТГУ

Elpub

СФУ

Webpublishers

Индексация

BASE

WorldCat

OpenAIRE

EDS

core