Материалов:
1 081 645

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

Mathematical simulation of intelligent control system of metal vacuum sputtering process on the basis of application of multi-agent system

Дата публикации: 2013

Дата публикации в реестре: 2020-03-01T01:08:11Z

Аннотация:

Тип: Article

Источник: SCOPUS18184952-2013-23-7-SID84880632659

Другие версии документа

Mathematical simulation of intelligent control system of metal vacuum sputtering process on the basis of application of multi-agent system

Связанные документы (рекомендация CORE)