Дата публикации: 2016

Дата публикации в реестре: 2020-03-01T01:24:39Z

Аннотация:

Тип: Conference Paper

Источник: SCOPUS17578981-2016-158-1-SID85014409840

Другие версии документа

Solution of the problem of interaction between capacitive coupled radio-frequency discharge and a sample