Микроэлектроника и микросхемотехника : лаборатор. практикум по курсу «Микроэлектроника и микросхемотехника» для студентов специальности 1-36 04 02 «Промышленная электроника» всех форм обучения
Обобщены основные сведения о технологических процессах формирования полупроводниковых приборов и интегральных схем. Практикум состоит из трех лабораторных работ, в каждой работе даны описания методик моделирования параметров технологических процессов и формируемых структур элементной базы с использованием программного продукта Icecrem 4.3.