Влияние параметров импульсной работы вакуумно-дугового испарителя на концентрацию капель в формируемых пленках

Белоус, В. А.; Лунев, В. М.; Павлов, В. С.

Влияние параметров импульсной работы вакуумно-дугового испарителя на концентрацию капель в формируемых пленках

Белоус, В. А., Лунев, В. М., Павлов, В. С.

Дата публикации: 2001

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T09:52:21Z

Аннотация:

Исследовано относительное содержание капельной фазы на поверхности конденсируемых титановых пленок при вакуумно-дуговом испарении титана в непрерывном и импульсном режимах горения дуги с различной скважностью

Ключевые слова:
естественные науки, физика, физика плазмы, титановые пленки, конденсат, вакуумно-дуговой испаритель, капельная фаза

Тип: Article