Материалов:
1 082 141

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Влияние воздействия термического отжига на дефектообразование в арсениде галлия при имплантации ионов фосфора

Бобрович, Олег Георгиевич

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T10:26:15Z

Ключевые слова:
кристаллы, дефектообразование, имплантация ионов фосфора, имплантированные слои кристаллов, термический отжиг, арсенид галлия, резерфордовское обратное рассеяние ионов гелия

Тип: Article

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core