Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату.
Представлены методики расчета конструктивных параметров и технологических режимов работы оборудования, используемого в технологических процессах получения полупроводниковых материалов. Для студентов специальности 150108.65 «Порошковая металлургия, композиционные материалы, покрытия».
