Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

Исследование влияния кремниевых пластин на СВЧ разряд в плазмотроне резонаторного типа

Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2021-03-09T13:29:18Z

Тип: Working Paper

Другие версии документа

Исследование влияния кремниевых пластин на СВЧ разряд в плазмотроне резонаторного типа

Связанные документы (рекомендация CORE)