Рассматривается алгоритм сшивки кадров слоя топологии СБИС для формирования полного изображения слоя без искажений. Кадры получены путем съемки микроскопом с большим увеличением технологического слоя микросхемы. Областями применения результатов работы являются – цифровая обработка изображений, методы анализа изображений.Stitching algorithm for layout frame of VLSI by key points to form a complete or common image of VLSI layout without distortion is considered. Each frame of VLSI layout is obtained by electron microscope. The algorithm can be applied in image processing and image analysis.