Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

Условия формирования танталовых наносеток

Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:40:26Z

Аннотация:

В работе представлены результаты формирования наноразмерных сеток из Та, которые могут быть использованы для построения различных электронных приборов. Идея состоит в том, чтобы с помощью методов электрохимического анодирования из единой системы двух тонкопленочных вентильных металлов - Al/Ta - синтезировать периодические, танталовые проводники, структурированные в наносетку с управляемыми свойствами. В данной работе представлены результаты определения условий формирования танталовых наносеток c заданными геометрическими параметрами методом электрохимического анодирования.

Тип: Статья

Другие версии документа

Условия формирования танталовых наносеток

Связанные документы (рекомендация CORE)