Имитационное моделирование мехатронной системы параллельной кинематики на гибридном приводе прямого действия

Кузнецов, В. В.; Kuznetsov, V. V.

Имитационное моделирование мехатронной системы параллельной кинематики на гибридном приводе прямого действия

Дата публикации: 2021

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T18:02:40Z

Аннотация:

Предложенная в работе мехатронная система параллельной кинематики на гибридном приводе прямого действия рекомендуется для использования при создании прецизионных систем перемещений сборочного и оптико-механического оборудования микро- и наноэлектроники с разрешением до нанометрового уровня. The proposed mechatronic system of parallel kinematics on a hybrid direct-action drive is recommended for use in creating precision systems for displacement of assembly and optomechanical equipment for micro- and nano-electronics with a resolution up to the nanometer level.

Ключевые слова:
материалы конференций, кинематика, имитационное моделирование, параллельная кинематика, приводы прямого действия, kinematics, simulation modeling, parallel kinematics, direct drive

Тип: Статья