Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Micro-Raman Investigation of Hydrogen Localized in Cone-Shaped Defects Formed on the Silicon Wafer Surface

Frantskevich, N. V., Fedotov, A. K., Frantskevich, A. V., Mazanik, N. V.

Дата публикации: 2015

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T12:06:59Z

Аннотация:
Ключевые слова:
Hydrogen, Defects, Laser, Silicon, Blanket

Тип: Статья (Article)

Другие версии документа

Micro-Raman Investigation of Hydrogen Localized in Cone-Shaped Defects Formed on the Silicon Wafer Surface

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core