Описание начальных стадий роста тонкопленочных трубок в низкотемпературной плазме

Бобков, В. В.; Слюсаренко, Ю. В.; Старовойтов, Р. И.

Описание начальных стадий роста тонкопленочных трубок в низкотемпературной плазме

Бобков, В. В., Слюсаренко, Ю. В., Старовойтов, Р. И.

Дата публикации: 2000

Дата публикации в реестре: 2022-12-01T13:12:17Z

Аннотация:

Физические закономерности, связанные с зарождением и ростом новообразований на поверхности твердого тела при ее распылении потоками заряженных и нейтральных частиц. Новые свойства поверхности и их использование в современных технологиях

Ключевые слова:
техника, технология металлов, металловедение, тонкопленочные трубки, трубчатые новообразования, низкотемпературная плазма

Тип: Article