Получение порошка диоксида кремния золь-гель методом для финишной полировки пластин монокристаллического кремния

Гайшун, В. Е.; Бойко, А. А.; Подденежный, Е. Н.; Мельниченко, И. М.

Получение порошка диоксида кремния золь-гель методом для финишной полировки пластин монокристаллического кремния

Гайшун, В. Е., Бойко, А. А., Подденежный, Е. Н., Мельниченко, И. М.

Дата публикации: 1996

Дата публикации в реестре: 2023-12-05T17:14:18Z

Аннотация:

Разработана промышленная технология получения порошка особо чистого диоксида кремния по золь-гель методу. Этот порошок может использоваться в качестве основного компонента полирующей суспензии для финишной обработки пластин полупроводниковых материалов.

Тип: Article