Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Исследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленок

Бельский, Д. В., Мадвейко, С. И., Бордусов, С. В., Тихон, О. И., Лушакова, М. С.

Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T12:33:31Z

Тип: Научный доклад (Working Paper)

Другие версии документа

Исследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленок

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core