Восстановление характеристик и определение параметров статистической нанометровой шероховатости поверхности по данным рассеяния в планарном оптическом волноводе

Yegorov A.A.

Рассмотрена задача о рассеянии направляемой ТЕ-моды в планарном оптическом волноводе с малыми по величине случайными нерегулярностями. Представлены результаты численного решения прямой и обратной задач рассеяния для статистической стационарной нанометровой шероховатости поверхности. Показана возможность извлечения информации о статистических свойствах шероховатости поверхности из данных измерения рассеянного излучения в дальней зоне (или в эквивалентной ей фурье-плоскости). Установлено, что при высоком отношении сигнал--шум оптимизация оптической передаточной функции волновода и эффективное сглаживание позволяют достичь сверхразрешения по интервалам корреляции шероховатостей порядка lambda/30-lambda/20.

Связанные документы (рекомендация CORE)

Новости проекта

Новости

Партнеры

Индексация