Spectral Ellipsometry and Electron Backscatter Diffraction Analyses of Silicon Surfaces Implanted with Silver Ions - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Spectral Ellipsometry and Electron Backscatter Diffraction Analyses of Silicon Surfaces Implanted with Silver Ions

Bazarov V., Nuzhdin V., Valeev V., Vorobev V., Osin Y., Stepanov A.

Дата публикации: 2016

Дата публикации в реестре: 2020-03-01T01:19:48Z

Аннотация:

Ключевые слова:
electron backscatter diffraction, ion implantation, porous silicon, spectral ellipsometry

Тип: Article

Источник: SCOPUS00219037-2016-83-1-SID84961201423

Другие версии документа

Spectral Ellipsometry and Electron Backscatter Diffraction Analyses of Silicon Surfaces Implanted with Silver Ions

Связанные документы (рекомендация CORE)