Нанопористый анодный оксид алюминия в конструкции газовых микросенсоров

Горох, Г. Г.; Захлебаева, А. И.; Плескачевский, Ю. М.; Реутская, О. Г.; Таратын, И. А.; Хатько, В. В.

Нанопористый анодный оксид алюминия в конструкции газовых микросенсоров

Горох, Г. Г., Захлебаева, А. И., Плескачевский, Ю. М., Реутская, О. Г., Таратын, И. А., Хатько, В. В.

Дата публикации: 2016-11

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T07:07:06Z

Аннотация:

Проведен анализ методов формирования газовых микросенсоров. Представлена методика формирования высокочувствительных газовых микросенсоров на нанопористых подложках из анодного оксида алюминия. The methods of the formation of gas microsensors were analysed. The technique of formation of highly sensitive gas microsensors on nanoporous substrates of anodic alumina was presented.