Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T16:40:34Z

Аннотация:

Газовые микросенсоры относятся к устройствам, позволяющим проводить анализ концентрации того или иного химического компонента в смеси газов. Использование наноструктурированного анодного оксида алюминия в конструкциях микросенсоров дает возможность создавать на поверхности подложек высокоразвитые структуры или рельефы для последующего нанесения чувствительных слоев газового сенсора, снижать потребляемую мощность, повышать адгезионные свойства полученных подложек и структур. В результате проведенных работ разработаны конструкции и технологии изготовления полупроводниковых высокочувствительных газовых сенсоров и мультисенсорных микросистем с низким энергопотреблением на основе подложек и мембран из нанопористого оксида алюминия, гироскопического сенсора, макетного образца микросистемы «электронный нос» с преконцентратором. Исследования газочувствительных свойств микросенсоров были выполнены при разных режимах измерения.

Тип: Article

Другие версии документа

Нанопористый анодный оксид алюминия в конструкции газовых микросенсоров