Применение импульсного фотонного отжига для создания тонких пленок силицидов переходных металлов - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Применение импульсного фотонного отжига для создания тонких пленок силицидов переходных металлов

Чапланов, А. М., Маркевич, М. И., Щербакова, Е. Н.

Дата публикации: 2011

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T11:35:01Z

Тип: Научный доклад (Working Paper)

Другие версии документа

Применение импульсного фотонного отжига для создания тонких пленок силицидов переходных металлов Применение импульсного фотонного отжига для создания тонких пленок силицидов переходных металлов

Связанные документы (рекомендация CORE)