МЭМС-индуктор на основе анодного оксида алюминия

Кушнер, А. Д.; Короткевич, А. В.

МЭМС-индуктор на основе анодного оксида алюминия

Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:56:57Z

Аннотация:

В работе рассматривается технология изготовления МЭМС-индуктора на основе анодного оксида алюминия. Предложена модифицированная геометрия индуктора соленоидного типа с использованием технологии поверхностной микрообработки. The paper discusses the technology of manufacturing a MEMS inductor based on anodic aluminum oxide. A modified geometry of a solenoid-type inductor using surface micromachining technology is proposed.

Ключевые слова:
материалы конференций, МЭМС-индукторы, анодный оксид алюминия

Тип: Статья