расширенный поиск
Дата публикации: 1996
Дата публикации в реестре: 2022-10-06T12:41:05Z
Ионное распыление обусловлено образованием каскадов смещенных атомов вследствие взаимодействия атомов кристаллической решетки в приповерхностном слое с бомбардирующими поверхность ионами газов
Тип: Article