Методы нанесения DLC-покрытий - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Методы нанесения DLC-покрытий

Боровиков, С. М., Пигаль, Р. В., Терещук, О. И., Коротченя, М. А., Сивак, Д. И., Фролов, Ю. В., Делендик, М. В., Borovikov, S. M.

Дата публикации: 2021

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T16:31:29Z

Аннотация:

Статья посвящена методам нанесения DLC покрытий, их преимуществам и недостаткам.

Ключевые слова:
публикации ученых, DLC, CVD, PECVD, HiPIMS, углерод, алмазоподобные покрытия, материаловеденье, технологии тонких плёнок

Тип: Статья

Связанные документы (рекомендация CORE)