Профили внедрения, создаваемые ионами в условиях каналирования - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Профили внедрения, создаваемые ионами в условиях каналирования

Матюхин, С. И.

Дата публикации: 2008

Дата публикации в реестре: 2023-02-21T11:01:25Z

Аннотация:

Получены аналитические выражения для профилей внедрения, которые создаются ионами, инжектированными в кристаллы в условиях каналирования

Ключевые слова:
физика, элементарные частицы, ионы, ионная имплантация, каналирование

Тип: Article

Другие версии документа

Профили внедрения, создаваемые ионами в условиях каналирования

Связанные документы (рекомендация CORE)