Полупроводниковый газовый сенсор с нагревателем из монокристаллического кремния

Таратын, И. А.; Горох, Г. Г.; Лозовенко, А. А.; Кевра, Е. В.

Полупроводниковый газовый сенсор с нагревателем из монокристаллического кремния

Таратын, И. А., Горох, Г. Г., Лозовенко, А. А., Кевра, Е. В.

Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2023-02-21T11:50:26Z

Аннотация:

Представлены результаты исследований полупроводникого газового сенсора с нагревателем кремниевого из монокристаллического кремния. Приведены вольтамперные и температурные зависимости кремнивого нагревателя. Максимальное значение химического отклика на воздушную смесь с содержанием 0,49 об% CH4 получено при мощности нагревателя 108,12–111,47 мВт.

Тип: Working Paper