Полупроводниковый газовый сенсор с нагревателем из монокристаллического кремния

Таратын, И. А.; Горох, Г. Г.; Лозовенко, А. А.; Кевра, Е. В.

Полупроводниковый газовый сенсор с нагревателем из монокристаллического кремния

Таратын, И. А., Горох, Г. Г., Лозовенко, А. А., Кевра, Е. В.

Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:35:21Z

Аннотация:

Представлены результаты исследований полупроводникового газового сенсора с нагревателем кремниевого нагревателя. Максимальное значение химического отклика на воздушную смесь с содержанием 0,49 об% CH4 получено при мощности нагревателя 108.12-111.47 мВт.

Ключевые слова:
публикации ученых, монокристаллический нагреватель, полупроводниковый газовый сенсор, вольтамперные характеристики

Тип: Article