Пористый кремний в микро и нанотехнологиях

Лемешевский, И. А.

Пористый кремний в микро и нанотехнологиях

Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:17:59Z

Аннотация:

Данное исследование посвящено изучению свойств параметров пористого кремния и его особенностей, а также сферы применения пористого кремния и перспективы его использования.

Ключевые слова:
материалы конференций, нанотехнологии, наноэлектроника, пористый кремний

Тип: Article