Компьютерное моделирование начальных стадий роста карбида кремния на кремнии из монометилсилана: магистерская диссертация по направлению подготовки: 03.04.02 - Физика - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Компьютерное моделирование начальных стадий роста карбида кремния на кремнии из монометилсилана: магистерская диссертация по направлению подготовки: 03.04.02 - Физика

Петраков, Владислав Александрович

Дата публикации: 2024

Дата публикации в реестре: 2024-07-01T17:14:34Z

Тип: магистерская диссертация

Связанные документы (рекомендация CORE)